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芯片前道制程设备
晶圆探针台
晶圆探针台
GPS1200晶圆测试探针台是晶圆探针检测的专用设备。它能够满足12英寸、8英寸晶圆的测试需求,通过高精度定位平台、高刚性晶圆承载台和高分辨率仰视相机(探针相机)及俯视相机(晶圆相机),实现全自动上下晶圆料片、对针和高精度扎针,与测试机配合完成对晶圆上集成电路的品质检测。
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