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红外激光划片机

AS113S系列激光划片机是0201片式电阻制程中的专用设备。它适合小尺寸陶瓷基板的划线制程需求,通过高精密直线定位平台配合高功率激光器,实现高效、稳定的全自动划线。
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产品编号
所属分类
激光划片机
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产品描述

AS113S系列激光划片机是0201片式电阻制程中的专用设备。它适合小尺寸陶瓷基板的划线制程需求,通过高精密直线定位平台配合高功率激光器,实现高效、稳定的全自动划线。
本设备具备高精度的视觉对位系统,通过俯视和仰视相机可以实现正面和反面划线,并保证两面的划线重合度。

1、主要指标

工作范围

X/Y轴行程

mm

250/200

基片尺寸

mm

80*80(可选)

划线参数

划线速度

mm/s

400

划线深度

μm

20-150

光学系统

光斑尺寸

μm

20

激光波长

nm

1070

激光功率

w

100

调焦精度

μm

<2

工作台

定位精度

μm

<1.5

旋转精度

1

视觉系统

图像系统

 

双CCD系统

控制系统

PCI板卡

 

8轴高速控制卡

机械参数

长/宽/高度

m

1.3/1.1/1.5

设备重量

kg

980

2、产品特点

主要参数

性能描述

备注

划片质量

对0201划片,I分、II分划槽形貌符合气化层、热熔层深度1:1;深度、宽度等需达到技术要求;划片后破片率<0.1%;
断线率<0.6%;划槽截面无崩碎。

见附图1

划片工艺

  1. 火山口高度0-4μm可调。
  2. 火山口呈现凹槽形貌,凹槽深度>3μm。

产能

以0201型号为例,连续生产完成正反面划线产能不少于380片/天。

 

精度

  1. 整机划片精度小于±5μm。
  2. 线间距pitch值误差小于±0.5μm。
  3. 划片后重合度≤5μm。

 

器件选型

  1. 使用西进划片机等同激光器(飞博)。
  2. 直线平台采用大银、东方马达等知名品牌。
  3. 质保期3年以上。

 

功能配置

  1. 划片机自带图形编辑功能,操作简单方便,并能提供数据输入错误提示、参数异常提醒等功能。
  2. 关键参数加入权限管理,避免误操作发生。

 

稳定性

划片机稳定性好,调试成功后质量及工艺可长期稳定维持,基本无正常操作情况下停机,维护一次可工作一个月以上。

 

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