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激光调阻机
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产品编号
所属分类
激光调阻机
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产品描述
LTR 系列激光调阻机是长春光华微电子设备工程中心有限公司的荣誉产品，具有18年的发展历程。激光调阻机是先进的现代化片式电阻阻值修调设备，采用无机械接触式的激光加工工艺，具备生产速度快（80万只/小时），调阻精度高（1%、0.1%）等优点，在微电子行业广泛应用。该产品是集成光、机、电、算于一体的现代化高精密工业设备，修调阻值覆盖范围5mΩ~200MΩ，具有L-cut、II-cut、Z-cut、S-cut等26种光刻刀形，主要用于生产厚膜、薄膜、金属膜、功能电路等各种尺寸规格（01005、0201、0402、0603、0805、1206等）的片阻产品。光华公司具有完全的自主知识产权，可以根据客户要求定制机型。
LTR420/530系列 激光调阻机技术指标
|
型号 |
LTR420D |
LTR420E |
LTR420F |
LTR530A |
LTR530B |
|
基片型号 |
0402,0603 |
0201,0402 |
0805, 1206 |
0603,0805 |
0402 |
|
应用 |
厚膜 |
厚膜 |
超低阻 |
薄膜 |
薄膜 |
|
激光器功率 |
6W |
6W |
6W |
3W |
3W |
|
扩束器 |
2—8 |
2—8 |
2—8 |
2—8 |
2—8 |
|
Fθ透镜焦距 |
163mm |
163mm |
163mm |
100mm |
100mm |
|
光斑直径 |
25μm--35μm |
25μm--35μm |
25μm--35μm |
8μm--12μm |
8μm--12μm |
|
扫描分辨率 |
1μm |
1μm |
1μm |
1μm |
1μm |
|
扫描定位精度 |
±4μm |
±4μm |
±4μm |
±2.5μm |
±2.5μm |
|
图像监视 |
CCD×1 |
CCD×1 |
CCD×1 |
CCD×1 |
CCD×1 |
|
图像定位 |
|
CCD×1 |
|
|
CCD×1 |
|
图像定位精度 |
|
±3μm |
|
|
±3μm |
|
测量范围 |
1Ω---300M |
1Ω---300M |
5mΩ---100Ω |
1Ω---300M |
1Ω---300M |
|
测量响应时间 |
中阻区：18μs |
||||
|
测量分辨率 |
中阻区：0.005％ |
||||
|
测量重复精度 |
中阻区： ±0.01％ |
||||
|
测量精度 |
低阻区:±0.02％±(1％/R)( R< 50Ω); 中阻区:±0.02％; 高阻区: ±0.02％±0.02%每MΩ( R>250KΩ) |
||||
|
调阻控制精度 |
±5% ~ ±1%, |
±5% ~ ±1% |
±5% ~ ±1% |
±5%~ ±0.1% |
±5%~ ±0.1% |
|
测量通道 |
192/240/288 |
192/240/288 |
192/240/288 |
192/240/288 |
192/240/288 |
|
探针形式 |
2/4T--4Line |
2/4T--4Line |
2/4T--4Line |
2/4T--4Line |
2/4T--4Line |
|
载台定位分辨率 |
1μm |
1μm |
1μm |
1μm |
1μm |
|
载台重复定位精度 |
±5μm |
±5μm |
±5μm |
±5μm |
±5μm |
|
载台定位精度 |
±10μm |
±10μm |
±10μm |
±10μm |
±10μm |
关键词:
激光
ccd
精度
测量
定位
192
10
240
4t--4line
288
上一个
无
下一个
无
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